介质薄膜论文

阵列激励电极式RF MEMS电容开关的设计与数值分析
论文摘要与传统的半导体开关相比,RFMEMS开关具有体积小、能耗小、插入损耗低,以及高隔离度等优点。在地面无线通讯技术、卫星通讯系统中具有广泛的应用前景。本课题主要研究内容是针...