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微电子器件可靠性建模与仿真的逾渗分析方法
论文题目:微电子器件可靠性建模与仿真的逾渗分析方法论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:马中发导师:庄奕琪关键词:可靠性,逾渗,建模,仿真,介质经时击穿,电迁移...