激光调阻论文

激光调阻机多功能控制器的研究
论文摘要激光技术是二十世纪与原子能、半导体、计算机齐名的四大发明之一，自上世界八十年代起，激光技术广泛应用于加工领域。在电子工业中，激光微细加工技术成为打破半导体技术“瓶颈”的...
激光微加工微结构体及超薄型Pt膜温度传感器的研究
论文摘要随着MEMS技术的飞速发展,具有高灵敏度、高稳定性、可靠性好、在微小空间具有检测能力的微传感器及相关微结构体已成为当今微电子技术领域中的研究热点。本文采用激光微加工技术...
激光调阻的阻值关系研究及其控制策略分析
论文题目:激光调阻的阻值关系研究及其控制策略分析论文类型:博士论文论文专业:光学工程作者:王志娟导师:于前洋,汤建华关键词:激光调阻,调阻精度,刻蚀路径,调阻控制策略,单步增量...