激光干涉光刻论文

激光干涉光刻制备微纳结构的表面积计算及其特性分析
论文摘要在微纳结构制备领域中,激光干涉光刻制备技术吸引了国内外许多学者专家们的关注,它在制备特殊形貌的微纳结构方面具有很多优势,其应用前景广泛。而微纳结构单位表面面积的增加是微...
多光束激光干涉图案的相移控制方法研究
论文摘要随着微细加工行业的日益增长的需求,多种光刻技术也得到了发展,其中包括激光干涉纳米光刻技术。在激光干涉纳米光刻技术应用中,经常需要制造大面积或高密度纳米表面结构,因此,为...