![激光干涉仪在低频微小振动测量中的应用]()
论文摘要随着科学技术的发展,微小信号的检测已经越来越受到重视。而激光干涉测量技术在对微小信号检测方面具有精度高,动态范围大,电器绝缘的特性。在激光干涉测量中,信号解调技术非常关...
![基于激光干涉的声信号接收显示与处理研究]()
论文摘要传统声信号探测接收主要采用拾振器和声压水听器等传感器,然而这些探测仪器的灵敏度一般较低。本文针对高灵敏度声信号探测接收装置研究的需求,对基于激光干涉的微弱声信号测量技术...
![激光合成波长纳米位移测量干涉仪的准直方法研究]()
论文摘要近年来,随着微电子、超精密加工等高新技术的迅速发展,对纳米位移测量技术及仪器提出了既要测量范围大又要同时达到纳米级测量精度的要求,为了保证纳米位移测量仪器高测量精度的实...
![点对点量块自动化检定系统的研究]()
论文摘要量块的检定是长度计量中的一项重要内容,通过量块将长度基准传递到机械零件和产品的尺寸上,从而保证量值统一。科技进步和经济发展,带动企业量块检定批量增加,并对量值溯源设备提...
![Canon KrF扫描光刻机套准精度的改进方法研究]()
论文摘要随着IC制造业的迅速发展,光刻成像技术的不断提高,芯片的特征尺寸也不断的缩小,而关键尺寸的缩小则产生了对套刻精度更高的要求。套准精度(Overlay)是现代高精度步进扫...
![基于激光测试技术的数控机床误差识别与补偿研究]()
论文摘要本论文以研究基于激光测试技术的数控机床误差识别与补偿研究为主要内容，首先分析了国内外数控机床几何误差和热误差的检测技术与补偿技术的发展现状，对数控机床的误差进行了详细的...
![2.5维大范围纳米激光干涉测长信号处理子系统的研究]()
论文题目:2.5维大范围纳米激光干涉测长信号处理子系统的研究论文类型:硕士论文论文专业:测试计量技术及仪器作者:高宏堂导师:邵宏伟关键词:纳米测量,激光干涉仪,误差补偿,干涉信...
