激光划痕法论文

激光划痕仪检测装置及试验研究
论文摘要膜基界面结合强度是表征薄膜质量的重要指标,是薄膜技术研究与应用中的关键技术。目前已经提出的检测膜基界面结合性能的方法有激光层裂法、划痕法、压痕法、界面压入法等计355种...