激光微加工论文

宽禁带材料的激光微加工及其机理研究
论文摘要宽禁带材料的研究及应用越来越受到人们的重视,像以氮化镓（GaN）为代表的第三代半导体材料、石英玻璃（SiO2）材料都是研究的热点领域。其中石英材料因其卓越的物理性能已成...
适用于激光微加工的自动对焦系统的研究
论文摘要随着脉冲激光微加工技术的发展,对于加工精度的要求越来越高,适用于激光微加工的自动对焦系统能够实时跟踪加工工件表面,保证激光光斑质量,对于提高激光加工的效果有着重要的作用...
激光微加工微结构体及超薄型Pt膜温度传感器的研究
论文摘要随着MEMS技术的飞速发展,具有高灵敏度、高稳定性、可靠性好、在微小空间具有检测能力的微传感器及相关微结构体已成为当今微电子技术领域中的研究热点。本文采用激光微加工技术...