激光微细加工论文

半导体激光诱导液膜浸润刻蚀技术研究
论文摘要本文提出了一种新的半导体加工技术——半导体激光诱导液膜浸润腐蚀法,它与普通化学腐蚀相比,可以有效地消除晶体取向影响,制作出更加多样化的腐蚀图形,并且精确度有很大的提高;...
激光微细加工研究
论文摘要近年来,随着激光微细加工技术的完善以及加工工艺的成熟,激光微细加工的种类日益丰富,已经广泛应用到各种制造工业领域当中。在这种情况下,研究激光微细加工的相关工艺技术无疑具...
单片OEICs光器件的激光微细加工研制
论文摘要单片光电集成器件（OEICS）是将光器件和电器件两种性能、结构完全不同的器件集成在同一衬底上,需要解决光电兼容的问题,因此至今尚未完全实用化。激光微细加工技术具有“低温...