激光诱导腐蚀论文

半导体激光诱导液膜浸润刻蚀技术研究
论文摘要本文提出了一种新的半导体加工技术——半导体激光诱导液膜浸润腐蚀法,它与普通化学腐蚀相比,可以有效地消除晶体取向影响,制作出更加多样化的腐蚀图形,并且精确度有很大的提高;...