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微结构表面的金刚石飞切加工研究
论文摘要随着科技的发展,微结构表面在光学领域、机械电子领域、生物医学领域和军事领域都显示出越来越重要的应用价值和广阔的应用前景。微结构功能表面的高精度、高效率、低成本加工制造引...