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大面积自支撑金刚石—金属复合膜的电铸研究及其应用
论文摘要本文研究了电铸工艺制备的金刚石-金属复合膜的微结构及其内应力,探讨了电镀工艺参数对复合膜品质的影响;研制出了金刚石颗粒分布均匀、厚度均匀、内应力小的超薄大面积自支撑金刚...