金刚石铣削论文

微结构表面的金刚石铣削加工研究
论文摘要超精密加工技术在微结构功能表面中加工体现出广阔的应用前景,尤其是在微结构光学元件的加工中,单晶金刚石超精密加工技术能够加工真正的微三维结构,且成形精度高;而单晶金刚石铣...