静电刚度论文

静电刚度谐振式微加速度计相关技术研究
论文摘要谐振式微加速度计是基于MEMS制作技术的、具有稳定性好和准数字的频率信号输出等优点的新型微加速度计。论文系统地研究了静电刚度谐振式微加速度计原理、制作、信号处理、测试方...