静电感应给电论文

基于静电感应的微细电火花加工方法的研究
论文摘要随着对微小器件需求的增加及MEMS技术的发展,对微细电火花加工也提出了更高的要求,提高微细电火花加工的微细化能力成为不可研究者追求的一个目标。放电凹坑的大小是决定微细电...