静电开关论文

基于叉指式共面波导的RF MEMS开关线型移相器研究
论文摘要随着MEMS技术在射频领域的应用,产生了一个全新的研究领域——RFMEMS,它使得射频器件的微型化成为可能。RFMEMS器件不仅在体积上大大小于传统的射频器件,方便集成...
基于叉指式共面波导的RFMEMS开关线型移相器研究
论文摘要随着MEMS技术在射频领域的应用,产生了一个全新的研究领域——RFMEMS,它使得射频器件的微型化成为可能。RFMEMS器件不仅在体积上大大小于传统的射频器件,方便集成...