静电力发生装置论文

静电场超微力测量方案的探索研究
论文摘要随着现代工业技术的发展,微纳级超微力的应用与测量已经渗透到工业生产的各个领域之中。然而微力传感器本身的性能却显得相对滞后,而且在国际上尚未形成统一的测量与溯源标准。因此...