静电力扩程论文

新型压阻式加速度传感器的研究
论文摘要压阻式硅微加速度传感器,因其具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点,尤其是它的低频响应好,并且该传感器在强辐射作用下能正常工作,对它的研究近年来受到重视。在工业...