静电驱动论文

论文摘要微机电系统（MEMS）是一种典型的多学科交叉的新兴高技术产业，已引起了世界各国的高度重视，并成为竞相争夺的技术制高点之一。目前，静电驱动微结构力学研究主要集中在微梁、板...

论文摘要可调谐光学滤波器是现代宽带光网中的一种核心器件,在波分复用光纤网络中,它可将光纤中不同波长传输的信号进行复用或解复用,或者在光网络中用作光插、分复用器。本论文的主要工作...

论文摘要本论文设计的项目主要从校正光线穿过大气、光学设备时产生的波前畸变出发,分析自适应光学校正方法,提出自适应光学波前校正系统中的核心执行器件DMs的设计结构和制造方法。随着...

论文题目:MEMS-DMs理论设计及工艺研究论文类型:博士论文论文专业:光学工程作者:余洪斌导师:陈海清关键词:微机电系统,自适应光学,可变形反射镜,体微加工技术,表面微加工技...