静电驱动梳状结构论文

静电驱动压电检测微机械陀螺仪的力学分析
论文摘要微机械陀螺仪具有体积小、重量轻、成本低,可靠性高、可批量生产、便于与电子线路集成等优点,因此在军用和民用领域具有广阔的应用前景。在微机械陀螺研究中,研制出价格低廉、体积...