精密并联定位平台论文

精密并联定位平台性能优化与构型综合
论文摘要能实现微米级,甚至亚微米、纳米级定位精度的定位平台,在微装配、新型纳米材料性能检测等领域有着广泛的应用。本文以4自由度精密并联定位平台的性能优化及精密并联定位平台新构型...