精密定位控制论文

机刻光栅制造系统结构特性与精度控制研究
论文摘要目前,大型光学系统和科学仪器发展的重要趋势是：视场不断增大,分辨力不断提高,相应地要求光学元器件扩大口径和提高精度。本论文涉及的光栅是一类以机械刻划方式制造的具有宏观尺...