精密工作台论文

基于ARM的大行程精密工作台控制系统
论文摘要在当今世界,装备制造业、大规模集成电路等高科技的发展,对超精密加工提出了越来越高的要求,大行程高分辨率的精密工作台系统在尖端的工业加工和科研领域里有着十分重要的应用。在...
纳米定位微位移工作台的控制技术研究
论文摘要随着微机电系统的快速发展，需要不断研究能够产生各种精细图形和微结构的加工技术。电子束曝光技术是目前公认的最好的高分辨率图形制作技术，主要用于0.1～0.5μm的超微细加...