精密驱动论文

压电双晶片型微位移放大机构研究
论文摘要随着科学技术的发展,精密和超精密驱动机构在精密制造、超精密加工、生物工程、医疗机械和芯片制造等领域应用越来越广泛,新型的驱动方式正逐步成为研究的主流。由于压电驱动器具有...
压电双晶片型二自由度惯性冲击式精密驱动器理论与实验研究
论文摘要本文分析了压电型精密驱动器的研究现状,结合国家863计划项目、国家自然科学基金项目和高等学校博士学科点专项科研基金项目,提出了以悬臂式压电双晶片为驱动元件,利用惯性冲击...
压电式粘滑精密运动机构驱动理论与实验研究
论文题目:压电式粘滑精密运动机构驱动理论与实验研究论文类型:博士论文论文专业:机械电子工程作者:华顺明导师:程光明,杨志刚关键词:压电双晶片,精密驱动,粘滑作用,精密运动机构,...