精密仪器论文

高精度二维平面光栅测量系统及关键技术研究
论文摘要测量技术与国民经济的各个部门、科学技术各个领域的发展都有着十分密切的联系。现代科学技术的飞速发展,特别是信息技术、MEMS技术、纳米技术、航空航天技术的发展,对测量技术...