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微构件拉伸测试系统设计与实现
论文摘要随着MEMS的发展,微构件材料力学性能研究越来越受到国内外研究人员的重视,但是目前测试所得微构件材料的力学性能参数分散性很大,甚至连最基础的弹性模量都没有一个一致公认的...