• 微构件拉伸测试系统设计与实现

    微构件拉伸测试系统设计与实现

    论文摘要随着MEMS的发展,微构件材料力学性能研究越来越受到国内外研究人员的重视,但是目前测试所得微构件材料的力学性能参数分散性很大,甚至连最基础的弹性模量都没有一个一致公认的...