晶体化论文

CrN薄膜与Ti-Si-N纳米复合膜的制备及其性能研究
论文摘要本文利用直流反应磁控反应溅射技术在不锈钢基体上制备了硬质薄膜（Cr、CrN、Ti-Si-N）。利用XRD、SEM、EDS、TEM分析了薄膜的物相组成、晶体结构、表面形貌...