径向纳动论文

压头曲率半径对单晶硅和氮化碳薄膜径向纳动损伤的影响
论文摘要单晶硅是微机电系统（MEMS）的主要结构材料,氮化碳薄膜（α-CNx）和DLC薄膜具有良好的机械性能,作为防护层薄膜已被广泛用于微机电系统。径向纳动广泛存在于MEMS中...