晶圆传输机器人论文

晶圆传输机器人关键控制技术研究
论文摘要集成电路(IC)是电子信息产业的核心,是推动国民经济和社会信息化发展的高新技术之一。IC制造装备技术是IC产业得以快速发展的重要基础技术。晶圆传输系统是IC装备中必不可...