晶圆片倒片系统论文

六英寸晶圆片倒片系统的设计、分析与测试
论文摘要随着半导体行业的发展,晶圆片作为半导体器件的基础材料,应用越来越广泛。晶圆片倒片系统是晶圆片生产线的专用设备,用于自动转移晶圆片的工序。国外的晶圆片倒片系统价格比较高,...