晶圆制造系统论文

晶圆制造Interbay物料运输系统智能调度技术研究
论文摘要半导体晶圆制造系统是当今最为复杂的离散制造系统之一,具有可重入流、大规模在制品混合加工、加工工序复杂、加工周期长、设备昂贵以及设备负载不均衡等明显区别于其他制造业的特点...