金属薄膜体系论文

纳米尺度金属薄膜氧化传质规律及其机理研究
论文摘要传质特性是材料的基本性质之一,在电子器件的制造、工艺、失效分析与可靠性评估等诸多应用领域中,均涉及到传质问题。近年来由于金属薄膜在微电子器件互连等领域中的广泛应用,使得...