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周瑜:基于热敏感的MEMS矢量水听器机理研究论文
本文主要研究内容作者周瑜,涂其捷,朱晓枭,刘云飞(2019)在《基于热敏感的MEMS矢量水听器机理研究》一文中研究指出:本文提出了一种用加热金属铂丝作为敏感单元的MEMS矢量水...