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HfO2高介电常数栅介质薄膜的制备及其电学性能的研究
论文摘要伴随着CMOS器件的持续缩小,传统的栅介质材料SiO2由于不可接受的隧穿漏电流和本身可靠性的问题,导致其继续作为栅介质材料的应用达到了物理极限。高介电常数材料由于其能够...
水合肼在离子液体中的电化学行为及其气体传感器研究
论文摘要室温离子液体是指在室温或室温附近温度下呈液态由离子所构成的物质,它是继水和超临界二氧化碳后又一种绿色环保溶剂体系。与传统的有机溶剂和电解质相比,离子液体具有独特的物理化...