金属绝缘体金属电容论文

基于RFID芯片应用的0.13μm高密度MIM电容制造工艺研究
论文摘要RFID（射频识别）芯片伴随着半导体技术的发展得到了广阔的应用,但是RFID芯片向深亚微米发展使其关键部件MIM电容的制造工艺成为难点,所以本文选择基于RFID芯片应用...