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功能化金刚石薄膜制备及其应用研究
论文摘要金刚石薄膜材料具有极高的稳定性、极高的硬度、较宽的禁带宽度、传播声波速度快、负电子亲和势、以及化学惰性等性质,使得金刚石薄膜材料在场发射、微电子器件、电化学、生物医用器...