金属诱导横向结晶论文

金属诱导横向结晶n型多晶硅薄膜晶体管热载流子应力下漏电特性及机制研究
论文摘要本文主要研究了金属诱导横向结晶n型多晶硅薄膜晶体管在热载流子(hotcarrier,HC)应力下的漏电特性,以及其所对应的物理机制;并确定了应力前后漏电的电流模型。最后...