金属诱导横向晶化论文

基于光脉冲辅助的金属诱导横向晶化多晶硅薄膜的研究
论文摘要本文首先对显示技术的发展和多晶硅薄膜的制备方法以及应用前景进行了综述,同时对Ni金属诱导非晶硅横向晶化制备多晶硅的研究现状以及诱导机理与应用等进行了系统概述。多晶硅薄膜...