金属有机化学气相淀积论文

ZnO基薄膜晶体管的初步研究
论文摘要本论文的主要实验内容是在ITO玻璃衬底上利用等离子增强金属有机化学气相淀积-Ⅱ系统制备氧化镁薄膜材料及氧化锌半导体薄膜材料。实验中通过改变生长时的氧气流量和温度条件,分...