金属有机溶液沉积法论文

钛酸铋低维材料的制备及性能研究
论文摘要随着微电子技术的飞速发展，半导体器件的特征尺寸不断减小，SiO2作为MOSFET（metal-oxide-semiconductorfieldeffecttransis...
钛酸盐类铁电薄膜的制备及其性能研究
论文摘要近二三十年来，以铁电存储器的应用，例如铁电随机存储器（FRAM），铁电场效应晶体管（FFET）为目标，人们广泛开展了铁电薄膜与半导体集成的研究。其中广泛使用的存储材料P...