金属有机物化学气相淀积论文

论文摘要白光发光二极管LED(LightEmittingDiode)由于具有亮度高、寿命长、节能、绿色环保等显著优点,被公认为下一代照明光源。其中单片集成白光LED是未来LED...

论文摘要在深亚微米（0.15μm及以下）集成电路制造中，后段工艺日趋重要，为降低阻容迟滞（RCDelay），保证信号传输，减小功耗，有必要对后段工艺进行改进，Via阻挡层MOC...