基体预处理论文

氧化铍基HFCVD金刚石薄膜及其热性能的研究
论文摘要随着电子和光子产品朝着速度更快、体积更小、功率更高的方向发展,基片材料的选择和提高基片材料的导热性能成为重要的研究课题。多晶氧化铍陶瓷因其具有高的低温热导率和低的介电常...