机械刻划光栅论文

双圆锥形圆弧刀刻划衍射光栅的槽形控制研究
论文摘要衍射光栅是一种精密的光学元件,广泛地应用于各种现代光谱分析、精密测量中。利用金刚石刻划刀在膜层上机械刻划衍射光栅,是一种不可替代的光栅制作方法。因此,开展衍射光栅机械刻...