• 微小型MEMS陀螺的误差特性研究

    微小型MEMS陀螺的误差特性研究

    论文摘要MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)陀螺尺寸小、重量轻、可靠性高,在军事和民用等领域展现出广阔的应用前景。但是限于性能,MEMS陀螺主要...
  • RF MEMS可变电容及压控振荡器的研究

    RF MEMS可变电容及压控振荡器的研究

    论文摘要近年来,随着无线通信系统的飞速发展,对低相位噪声压控振荡器(VCO)的需求也同益增加。VCO的调谐能力通常由可变电容来实现,要获得低相位噪声,需要高Q值的片上可变电容。...