脊形光波导论文

SOI纳米光波导的研究及其工艺制作
论文摘要80年代后期,人们发现SOI材料具有良好的导波特性,使得SOI技术取得突破性进展,SOI光波导具有极低的传输损耗,并且横向器件载流子的时间利用率很高,使得以SOI为基础...
光波导GeSi光电探测器的研究
论文摘要Si基光电子集成采用成熟价廉的微电子加工工艺，将光学器件与多种功能的微电子电路集成，是实现光通信普及发展的有效途径。Si基OEIC（OptoelectronicInte...