基应变材料论文

Si基应变材料能带结构研究
论文摘要Si基（Si、SiGe）应变材料迁移率高、能带结构可调,且其应用与Si工艺兼容,是当前国内外关注的研究领域和研究发展重点,在高速／高性能器件和电路中有极大的应用前景。能...