极紫外论文

论文摘要地球磁层作为保护地球免受太阳活动影响的一道天然屏障，它的分布变化直接影响到人类大多数的航天活动以及无线电通讯等，而磁场的对流过程非常复杂，目前主要是通过监控等离子体层的...

论文摘要自IC诞生以来，其速度和成本一直遵循着摩尔定律进化，速度越来越快，而芯片所占面积越来越小，进而成本越来越低。芯片所占面积主要由光刻的工艺能达到的线宽决定，在IC光刻工艺...

论文摘要地球空间包括高层大气、电离层和磁层,是人类空间活动的最主要的区域。该区域的物理特性及其扰动变化与人类的经济、军事和科技活动密切相关。磁层空间暴是造成地球空间环境严重灾害...

论文摘要光刻技术及其在产业中的开发应用一直是业界最关注的焦点之一。极紫外光刻成为了下一代光刻技术最有力的竞争者。然而,要实现商业化,必须先克服技术上难关。光刻是大规模集成电路的...

论文摘要摘要激光等离子体（LPP）光源作为一种新型的软X射线光源,其研究始于二十世纪七十年代。随着极紫外投影光刻以及辐射计量等应用领域对光源的要求的不断提高,LPP软X射线-极...