聚焦误差信号论文

基于DSP的离焦信号同步采集与处理技术研究
论文摘要激光直写机是制作衍射光学元件的关键设备,离焦检测技术是其中的重要单元技术之一。离焦检测系统为聚焦伺服系统提供聚焦误差信号,使写入光斑经过伺服控制后能够精确聚焦于光刻胶表...