开环控制方法论文

六自由度纳米工作台驱动控制方法及系统研究
论文摘要微位移驱动技术是精密测量与精密制造的关键技术之一。随着微纳制造技术的快速发展,需求纳米级驱动控制技术的领域越来越多。本学位论文选题来源于国家自然科学基金“纳米三坐标测量...