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高导热绝缘氮化铝薄膜的制备、性能及在LED上的应用研究
论文摘要氮化铝薄膜由于具有化学稳定性好、热传导率高、机械强度高、电绝缘性能佳以及高能隙、低热膨胀系数和光学特性优良等特点,可以用做声表面波器件和大功率紫外光学器件的散热材料。本...