刻刀论文

论文摘要本文采用热阴极直流等离子体化学气相沉积（DC-PCVD）方法,以CH4+H2+CO2为反应气体,合成出了高品质、生长速率快的金刚石厚膜。研究了CO2流量对金刚石膜生长的...